法相宗所修的观行，从浅至深，共有五重，名五重唯识观。
第一重是遣虚存实，即遣除遍计所执的虚妄计度，而存依他起性及圆成实性的实体。
第二重是舍滥留纯，即舍除杂滥的外境，而存留纯粹的内识。
第三重是摄末归本，即从见相二分的枝末作用上，摄归自证分的本体。
第四重是隐劣显胜，即隐心所的劣，而显心王的胜。
第五重是遣相证性，即遣差别的事相，而证无差别的理性，也可以说，遣去一切法相，证入一切法性，名遣相证性。
又此五重唯识观，即为五种相对：
第一重遣虚存实，为空有相对，要遣空而存有。
第二重舍滥留纯，为心境相对，要舍境而留心。
第三重摄末归本，为体用相对，要摄用而归体。
第四重隐劣显胜，为王所相对，要隐所而显王。
第五重遣相证性，为事理相对，要遣事而证理。前四属唯识相，后一属唯识性。兹列表说明如下：